這種儀器在使用時，擺放在物件的上方，從儀器當中發射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會在膜的表面形成一個反射，另一部分則會透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個時候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時反射的光會造成干涉的現象。儀器便是利用了這樣的一種現象，從而測量出物件的厚度。厚度的測量看似簡單，實測上所利用的光反射原理，卻是需要經過一系列的設計才能達到如此理想狀態。如此光學膜厚測量儀的使用，便也有著其它傳統測厚儀所沒有的優點。

 

　　光學膜厚儀的使用注意事項：

　　1.零點校準

　　在每次使用膜厚儀之前需要進行光學校準，因為之前的測量參數會影響該次對物體的測量，零點校準可以消除前次測量有參數的影響，能夠降低測量的結果的誤差，使測量結果更加精確。

 

　　2.基體厚度不宜過薄

　　在使用光學膜厚儀對物體進行測量時基體不宜過薄，否則會極大程度的影響儀器的測量精度，造成數據結果不準確，影響測量過程的正常進行。

 

　　3.物體表面粗糙程度

　　對于被測物體的表面不宜太過粗糙，因為粗糙的表面容易引起光的衍射，降低了光學測量儀的測量精度，造成很大的誤差。所以被測物體的表面應該盡量保持光滑，以保證測量結果的精確性。